钨坩埚

钨坩埚由钨原料经筛分、冲裁、等静压、粗坯车削、中频烧结和精车削加工而成，主要用于涂 布机和涂布设备。钨坩埚的容量有 4cc、7cc、15cc、25cc、30cc 和 40cc。此外，还有用于电子束 枪的定制电子束坩埚和电子束坩埚衬里，其中钼坩埚衬里和其他材料坩埚衬里可提高蒸发率， 因此坩埚衬里成为涂层不可分割的一部分。坩埚衬垫可在蒸发材料和水冷坩埚之间提供热隔离， 这不仅能提高蒸发率、缩短周期时间，还能提高产量，从而提高薄膜沉积的效率并降低成本。 因此，坩埚衬垫作为镀膜工艺的自然组成部分得到了广泛应用。